Kelmer检漏仪(如常见的氦质谱检漏仪或卤素检漏仪)是用于检测系统或容器密封性的高精度设备,广泛应用于制冷、半导体、航空航天、汽车制造等领域。为确保检测准确性、设备寿命及操作安全,使用时需注意以下关键事项:一、使用前准备
- 环境检查
- 清洁度:检测区域需无强风、灰尘或腐蚀性气体(如酸雾、溶剂蒸气),避免污染传感器或影响检测灵敏度。
- 温度与湿度:
- 氦质谱检漏仪:环境温度建议控制在10℃~35℃,湿度≤85%RH,防止冷凝水进入设备。
- 卤素检漏仪:避免在高温(>40℃)或高湿(>90%RH)环境中使用,否则可能触发误报。
- 电磁干扰:远离变频器、电机、无线电发射器等强电磁源,必要时使用屏蔽电缆或加装滤波器。
- 设备检查
- 外观检查:确认检漏仪外壳无破损、接口无松动,显示屏或指示灯正常。
- 气源检查:
- 氦质谱检漏仪:检查氦气瓶压力(通常≥10MPa),确保供气稳定;若使用氦气回收系统,需验证回收效率。
- 卤素检漏仪:检查制冷剂(如R134a、R22)或示踪气体(如SF6)储量,避免中途耗尽。
- 校准验证:使用标准漏孔(如1×10⁻⁶ Pa·m³/s)验证检漏仪灵敏度,确保误差在允许范围内(如±10%)。
- 被检件准备
- 清洁处理:用无油压缩空气或酒精清洁被检件表面,去除油污、灰尘或水分,防止堵塞喷嘴或干扰检测。
- 预抽真空:若被检件内部有空气,需先用真空泵抽至规定压力(如≤10Pa),再注入示踪气体(如氦气),避免空气稀释示踪气体浓度。
- 隔离处理:关闭被检件所有阀门,确保系统密封;若检测管道,需用盲板封堵两端。
二、操作阶段注意事项
- 参数设置
- 检测模式选择:
- 喷枪法:适用于局部漏点定位,需将喷枪对准可疑部位(距离≤5mm),缓慢移动扫描。
- 吸枪法:适用于封闭腔体检测,需将吸枪插入被检件内部,抽气分析泄漏率。
- 真空箱法:适用于批量小件检测,需将被检件放入真空箱,抽真空后注入氦气,通过箱体传感器检测泄漏。
- 灵敏度调整:根据泄漏率要求设置阈值(如1×10⁻⁹ Pa·m³/s),避免灵敏度过高导致误报或过低漏检。
- 响应时间:设置合适的响应时间(如0.5-2秒),平衡检测速度与准确性(快速响应可能增加噪声干扰)。
- 示踪气体使用
- 氦气浓度控制:
- 喷枪法:氦气浓度建议为5%-10%,浓度过高可能导致检测饱和,浓度过低则灵敏度下降。
- 真空箱法:氦气注入压力需稳定(如0.1-0.5MPa),避免压力波动影响检测结果。
- 氦气回收:若长期使用氦气,需配备回收系统(如膜分离或低温冷凝),降低使用成本。
- 替代气体:在氦气短缺或成本敏感场景,可使用氢气(需加装防爆装置)或氮气+示踪剂(如氟利昂),但灵敏度可能低于氦气。
- 操作规范
- 避免交叉污染:检测不同被检件时,需用干净空气吹扫喷枪或吸枪,防止残留示踪气体干扰后续检测。
- 防止机械损伤:操作时轻拿轻放检漏仪,避免碰撞或摔落;喷枪头需定期更换(如每500次检测),防止磨损影响气流均匀性。
- 数据记录:实时记录泄漏位置、泄漏率及检测时间,便于追溯分析;若使用软件联动,需确保数据传输稳定。
三、安全防护措施
- 气体安全
- 氦气泄漏处理:氦气虽无毒,但高浓度可能导致窒息(氧气浓度<19.5%),需在通风良好环境中使用,并配备氧气浓度监测仪。
- 卤素气体防护:部分卤素气体(如SF6)可能分解产生有毒副产物(如氟化氢),需佩戴防毒面具或使用气体净化装置。
- 气体警示:若使用氢气作为示踪气体,需远离火源、静电,并配备防爆型检漏仪。
- 电气安全
- 接地保护:确保检漏仪接地良好(接地电阻<4Ω),防止静电积累或雷击损坏设备。
- 防爆设计:在易燃易爆环境(如化工厂、加油站)中,需选用防爆型检漏仪(Ex标志),并使用防爆电缆。
- 急停装置:在控制面板上安装急停按钮,遇紧急情况可立即切断电源。
- 个人防护
- 防护眼镜:防止喷枪反喷或氦气瓶高压气体喷出伤眼。
- 防静电手环:在检测半导体或电子元件时,需佩戴防静电手环,避免静电击穿敏感器件。
- 防护手套:操作高温部件(如真空泵排气口)或腐蚀性气体时,需佩戴耐高温或防化学手套。
四、维护与保养
- 日常清洁
- 外壳清洁:用干布擦拭检漏仪外壳,避免使用有机溶剂(如酒精、丙酮)腐蚀表面涂层。
- 喷枪/吸枪清洁:每次使用后用压缩空气吹扫喷枪内部,防止示踪气体残留或灰尘堵塞。
- 进气口过滤:定期更换进气口滤芯(如每3个月),防止灰尘进入质谱室或传感器。
- 定期校准
- 内部校准:每6个月或1年进行一次全面校准(使用标准漏孔和气体混合装置),验证灵敏度、线性度和响应时间。
- 温度补偿:若环境温度变化大,需在高温和低温下分别校准,并输入温度补偿系数。
- 易损件更换
- 质谱室灯丝:氦质谱检漏仪的灯丝寿命通常为500-1000小时,若显示“Filament Off”或信号衰减,需及时更换。
- 真空泵油:每500小时更换一次真空泵油(如使用Fomblin油可延长至2000小时),防止油污染影响抽速。
- O型圈:定期检查各接口O型圈是否老化或变形,若发现裂纹需立即更换(通常每1年更换一次)。
- 长期存放
- 清洁干燥:长期闲置前,清洁检漏仪并擦干水分,防止锈蚀或霉变。
- 气源隔离:关闭氦气瓶阀门,排出管道内残留气体,避免O型圈长期受压变形。
- 存放环境:将检漏仪存放于干燥(湿度<60%RH)、通风、无腐蚀性气体的室内,避免阳光直射或高温(如>40℃)。
五、常见故障与排除
- 无信号或信号弱
- 原因:灯丝断裂、质谱室污染、进气口堵塞。
- 处理:更换灯丝、清洗质谱室、更换进气滤芯。
- 误报或漏报
- 原因:灵敏度设置不当、环境干扰、示踪气体浓度异常。
- 处理:重新校准灵敏度、远离电磁源、调整示踪气体浓度。
- 真空泵故障
- 原因:油污染、油位不足、电机损坏。
- 处理:更换真空泵油、补充油量、维修或更换电机。
- 软件死机
- 原因:系统崩溃、数据过载、病毒感染。
- 处理:重启设备、清理存储空间、安装杀毒软件。
六、特殊场景注意事项
- 高温环境检测
- 选用耐高温型检漏仪(如外壳材质为不锈钢),并缩短连续工作时间(如每2小时休息30分钟)。
- 在被检件表面加装隔热罩,防止热量传导至检漏仪传感器。
- 强腐蚀环境检测
- 选用防腐型检漏仪(如内衬聚四氟乙烯),并缩短喷枪与被检件的距离(如≤3mm),减少腐蚀性气体接触时间。
- 检测后立即用清水冲洗喷枪,并涂抹防锈油。
- 微小泄漏检测
- 使用高灵敏度模式(如1×10⁻¹² Pa·m³/s),并延长检测时间(如每点检测≥5秒)。
- 配合积木法(将被检件分割为多个小区域逐一检测),提高定位精度。
通过严格遵循上述注意事项,可显著提升Kelmer检漏仪的检测准确性、稳定性和使用寿命,降低故障率,为密封性检测提供可靠保障。建议制定标准化操作流程(SOP),并由专业人员或经过培训的操作人员执行。